相手の魔法＆罠ゾーンに「神星なる領域」が表側表示で存在し、『このカードがフィールド上に存在する限り、光属性モンスターの効果の発動は無効化されない』効果が適用されています。

この状況で、相手の「エフェクト・ヴェーラー」のモンスター効果の発動にチェーンして、 自分は「サブテラーの妖魔」の『①：相手が魔法・罠・モンスターの効果を発動した時、手札・フィールドのこのカードを墓地へ送り、自分フィールドの「サブテラー」モンスター１体を対象として発動できる。その発動を無効にする。その後、対象のモンスターを裏側守備表示にする』モンスター効果を発動し、自分のモンスターゾーンに表側表示で存在する「サブテラーマリス・ジブラタール」を対象としました。

この場合、効果処理はどうなりますか？

質問の状況の場合、「神星なる領域」の効果が適用されており、光属性のモンスターである「エフェクト・ヴェーラー」のモンスター効果の発動は無効化されません。

そのため、「サブテラーの妖魔」の『その発動を無効にする』処理は適用されず、『その後、対象のモンスターを裏側守備表示にする』処理も適用されません。