「オルターガイスト・マテリアリゼーション」のカードの発動にチェーンして、「オルターガイスト・シルキタス」のモンスター効果を発動する場合、手札に戻すカードとして、「オルターガイスト・マテリアリゼーション」を選べますか？

自分の「オルターガイスト・マテリアリゼーション」の『①：自分の墓地の「オルターガイスト」モンスター１体を対象としてこのカードを発動できる。そのモンスターを攻撃表示で特殊召喚し、このカードを装備カード扱いとしてそのモンスターに装備する。このカードがフィールドを離れた時にそのモンスターは破壊される』効果を発動し、自分の墓地の「オルターガイスト・ヘクスティア」を対象としました。

その発動にチェーンして自分が「オルターガイスト・シルキタス」の『①：このカード以外の自分フィールドの「オルターガイスト」カード１枚を持ち主の手札に戻し、相手フィールドのカード１枚を対象として発動できる。そのカードを持ち主の手札に戻す。この効果は相手ターンでも発動できる』モンスター効果を発動する場合、手札に戻す「オルターガイスト」と名のついたカードとして、その「オルターガイスト・マテリアリゼーション」を選ぶ事はできますか？

「オルターガイスト・マテリアリゼーション」は通常罠カードですが、その効果処理によって装備カード扱いとしてモンスターに装備され、フィールドに残り続けるカードです。

したがって、質問の状況の場合、「オルターガイスト・マテリアリゼーション」のカードの発動にチェーンして、「オルターガイスト・シルキタス」のモンスター効果を発動する際に、その「オルターガイスト・マテリアリゼーション」を手札に戻す事ができます。

その際に、『そのモンスターを攻撃表示で特殊召喚し』の処理は適用され、対象のモンスター（＝質問の状況の場合、「オルターガイスト・ヘクスティア」）は特殊召喚されますが、『このカードを装備カード扱いとしてそのモンスターに装備する』処理は適用されません。
（特殊召喚の処理が行われる際に、「オルターガイスト・マテリアリゼーション」自身は既にフィールドに存在しなくなっていますので、『このカードがフィールドを離れた時にそのモンスターは破壊される』処理も適用されません。）