自分が「サイバー・エンジェル－那沙帝弥－」の『③：このカードが墓地に存在する場合、自分の墓地からこのカード以外の「サイバー・エンジェル」モンスター１体を除外し、相手フィールドのモンスター１体を対象として発動できる。このカードを墓地から特殊召喚し、対象のモンスターのコントロールを得る』モンスター効果を発動し、相手の「古代の機械巨人」を対象としました。

その発動にチェーンして相手が「おジャマトリオ」を発動し、3体の「おジャマトークン」が特殊召喚された事で、自分のモンスターゾーンの空きがなくなっている場合、効果処理はどうなりますか？

質問の状況のように、墓地にて発動した「サイバー・エンジェル－那沙帝弥－」のモンスター効果の処理時に、自分のモンスターゾーンの空きがない場合には、『このカードを墓地から特殊召喚し』の処理を適用する事ができず、『対象のモンスターのコントロールを得る』処理も適用されません。
（質問の状況の場合、対象の「古代の機械巨人」は相手のモンスターゾーンに残ります。）